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納米利氣體告訴你氬氣的特殊用途

2017/5/26 21:03:17 本文被閱讀

氬氣是目前工業上應用很廣的稀有氣體。它的性質十分不活潑,既不能燃燒,也不助燃。在飛機製造、造船、原子能工業和機械工業部門,對特殊金屬,例如鋁、鎂、銅及其合金和不鏽鋼在焊接時,往往用氬作為焊接保護氣,防止焊接件被空氣氧化或氮化。

   高純氬氣主要用途:用於焊接、不鏽鋼製造、冶煉,還用於半導體製造工藝中的化學氣相澱積、晶體生長、熱氧化、外延、擴散、多晶矽、鎢化、離子注入、載流、燒結等氬氣作為製作單晶及多晶矽的保護氣,為了提高矽晶體的質量,如何選用較高純度的氬氣,是製作矽晶體的一個議題。通過對本裝置的使用,氬氣的純度其中氧含量小於1ppm時,水分也小於1ppm時,製作出的單晶矽其氧碳含量就小於0.5ppm,這樣就提高了單晶的使用壽命並能達到要求,贏得客戶的滿意和市場的需求。由於一般液氬汽化後未經過純化處理,它的氧含量一般在2ppm~5ppm。有時氣體供應商提供的氬氣超過了此範圍,但使用氬氣的客戶確不知道其質量,所以往往給生產產品質量造成影響。有了氬氣純化裝置後不論氬原料氣的質量如何,隻要經過純化裝置的處理後,進入拉晶爐的氬氣,純度始終是恒定的。一般 O2<0.2ppm,水分<1ppm,這樣穩定的氬氣對生產晶體質量是有保證的。



 
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